তরল এবং গ্যাসের চাপ পরিমাপ করতে চাপ সেন্সর ব্যবহার করা হয়। সাধারণ প্রকারের মধ্যে রয়েছে MEMS সিলিকন পাইজোরেসিটিভ প্রেসার সেন্সর, MEMS সিলিকন রেজোন্যান্ট প্রেসার সেন্সর, সিরামিক ক্যাপাসিটিভ প্রেসার সেন্সর, মেটাল ক্যাপাসিটিভ প্রেসার সেন্সর, স্পুটারড থিন-ফিল্ম প্রেসার সেন্সর এবং মেটাল স্ট্রেন গেজ প্রেসার সেন্সর। তাদের অপারেটিং পরিস্থিতি কাজের নীতির উপর নির্ভর করে পরিবর্তিত হয়।
MEMS সিলিকন পাইজোরেসিটিভ প্রেসার সেন্সর:এটি চাপ সেন্সর সবচেয়ে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত ধরনের. এর প্রধান পরিমাপ পরিসীমা 15 kPa থেকে 100 MPa জুড়ে, সাধারণ নির্ভুলতা 0.05% FS থেকে 3% FS পর্যন্ত। অপারেটিং তাপমাত্রা পরিসীমা সাধারণত -55 ডিগ্রি থেকে 180 ডিগ্রি। যেহেতু এটি বড় আকারের{11}}সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়ার সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ, এটি সস্তা। তরল পরিমাপের জন্য, তেল-ভরা বিচ্ছিন্নতা প্যাকেজিং প্রয়োজন।
MEMS সিলিকন রেজোন্যান্ট প্রেসার সেন্সর: এই সেন্সরটি একটি উদ্ভাবনী নকশা নিযুক্ত করে যা চাপকে একটি মাইক্রো-বিমের অনুরণিত ফ্রিকোয়েন্সি পরিবর্তনে রূপান্তরিত করে৷ কারণ বিমের ফ্রিকোয়েন্সি শুধুমাত্র তার গঠন এবং তাপমাত্রার উপর নির্ভর করে এবং ফিল্টারিং প্রভাব থেকে সুবিধা, এই সেন্সরটি 0.01% FS পর্যন্ত উচ্চ আউটপুট নির্ভুলতা অর্জন করে৷ এর প্রধান চাপ পরিমাপের পরিসর 100 kPa থেকে 40 MPa জুড়ে, যার অপারেটিং তাপমাত্রা -55 ডিগ্রি থেকে 85 ডিগ্রি। জটিল উত্পাদন এবং উচ্চ ব্যয়ের কারণে, এটি অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াকরণ এবং সমুদ্রের গভীরতা পরিমাপের মতো অত্যন্ত উচ্চ নির্ভুলতা দাবি করা অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য উপযুক্ত।
সিরামিক ক্যাপাসিটিভ প্রেসার সেন্সর:সিরামিক উপাদান চমৎকার পরিধান প্রতিরোধের অফার করে, এই সেন্সরটিকে বালি-স্লারি মিশ্রণে চাপ পরিমাপের জন্য উপযুক্ত করে তোলে। এটি সালফিউরিক অ্যাসিডের মতো ক্ষয়কারী তরলগুলির পরিমাপ সক্ষম করে, ভাল জারা প্রতিরোধেরও প্রদান করে। অতিরিক্তভাবে, সিরামিক-ভিত্তিক চাপ সেন্সরগুলি জল জমে থাকা-এমইএমএস সেন্সরগুলির সাথে অর্জনযোগ্য নয় এমন বৈশিষ্ট্য সহ্য করতে পারে৷
মেটাল ক্যাপাসিটিভ প্রেসার সেন্সর:এই সেন্সর একটি চাপ-সংবেদনশীল চলমান ইলেক্ট্রোড হিসাবে একটি ধাতব মধ্যচ্ছদা ব্যবহার করে, একটি নির্দিষ্ট ইলেক্ট্রোড সহ একটি ক্যাপাসিটর গঠন করে। যখন ডায়াফ্রামে চাপ কাজ করে, তখন ইলেক্ট্রোডের মধ্যে ক্যাপাসিট্যান্স পরিবর্তিত হয়, চাপ-ক্যাপাসিট্যান্স সম্পর্ক স্থাপন করে। মেটাল ডায়াফ্রামগুলি জারা-প্রতিরোধী উপাদান যেমন ইনকোনেল থেকে তৈরি করা যেতে পারে এবং খুব কম চাপ পরিমাপ করতে পারে (0-1/10/100/1000 টর)। ফলস্বরূপ, অর্ধপরিবাহী শিল্পে ভ্যাকুয়াম পরিমাপ এবং বিশেষ গ্যাস পরিমাপের ক্ষেত্রে এর ব্যাপক প্রয়োগ রয়েছে।
স্পুটারডTহিন-ফিল্মপ্রেসার সেন্সর এবং মেটাল স্ট্রেন গেজ প্রেসার সেন্সর:উভয় সেন্সর একটি বৃহৎ ধাতব পৃষ্ঠের উপর প্রলেপযুক্ত একটি বল-সংবেদনশীল উপাদান বৈশিষ্ট্যযুক্ত, যা পণ্যটিকে শক্তিশালী এবং টেকসই করে। এগুলি উচ্চ চাপের পরিসর এবং উচ্চ নির্ভরযোগ্যতার প্রয়োজন এমন অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য উপযুক্ত, যেমন হলুদ পণ্য, ডিজেল ইঞ্জিন এবং টানেল বোরিং মেশিন৷ এই সেন্সরগুলি একটি নিখুঁত চাপ সেন্সরে তৈরি করা সহজ নয় এবং সাধারণত 200 MPa বা তার বেশি পর্যন্ত সর্বাধিক রেঞ্জ কভার করতে পারে। উপরের প্রথম চিত্রটি একটি ছিদ্রযুক্ত পাতলা-ফিল্ম সেন্সর কোর দেখায়, যখন দ্বিতীয় চিত্রটি একটি ধাতব স্ট্রেন গেজ কোর দেখায়৷
একটি চাপ সেন্সর নির্বাচন করা অবশ্যই প্রকৃত অপারেটিং অবস্থার উপর ভিত্তি করে এর কার্যকারিতা সম্পূর্ণরূপে লাভ করতে হবে। Mihui টেকনোলজি বিভিন্ন নীতির উপর ভিত্তি করে প্রেসার সেন্সরে বিশেষজ্ঞ, যা গ্রাহকদের সবচেয়ে উপযুক্ত সমাধান প্রদানের জন্য সম্পূর্ণ ডিজাইন, উৎপাদন এবং উৎপাদন ক্ষমতা প্রদান করে। আপনি আগ্রহী হলে আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে স্বাগতম:ফোন নম্বর: +8618066965135; ইমেল: mihuitec@gmail.com
